参数
单位
指标
产品编号
EUV-B-XRAY
工作波长
nm
20nm
脉宽
ns
7
脉冲能量(Xe)
mJ
3.5(4π sr, 2% BW)
转换效率
%
0.45
等离子形状
NA
Ø ~ 300 µm
重复频率
Hz
10