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TEUS S-200 Extreme Ultraviolet Light Source
TEUS S-200 Extreme Ultraviolet Light Source
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TEUS S-200
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Main parameter

主要技术参数

型号

TEUS S-200

激光平均功率

200W

脉冲重复率

50kHz或135kHz(可调)

可收集EUV功率的立体角

0.05s

等离子体尺寸*µm

≤60或≤40

带内辐射转换效率(13.5 nm±1%)

2%@2π·sr或1.6%@2π·sr

ЕUV碎片缓减系统后带内通量收集角(13.5nm±1%)

22mW或18mW

碎片缓减系统后带内光谱亮度(13.5nm±1%),W/mm2·sr

≥160W/mm2·sr或≥280W/mm2·sr

等离子体稳定性

3%RMS

系统寿命和维护要求

型号

TEUS S-200

24/7运行模式下,不使用特殊膜过滤器,收集器寿命下降10%

不少于4个月

在全天候运行模式下,使用特殊膜过滤器,集热器寿命下降10%

不少于9个月

维护间隔:

3个月- 2天

正常运行时间在全天候运行模式***

3个月

电力,系统尺寸和重量

型号

TEUS S-200

电功率

8.5kW

尺寸(L×W×H)

1500×1000×1200 mm

重量,包括激光部件

770 公斤

设备需求

型号

TEUS S-200

房间清洁度等级

ISO7

水流速率

10升/分钟

 

 


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