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TEUS S-100 Extreme Ultraviolet Light Source
TEUS S-100 Extreme Ultraviolet Light Source
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TEUS S-100
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Main parameter

主要技术参数

型号

TEUS S-100

激光平均功率

100W

脉冲重复率

25kHz或70kHz(z高)

可收集EUV功率的立体角

0.05sr

等离子体尺寸*µm

≤ 60 or ≤ 40

带内辐射转换效率(13.5 nm±1%)

2 % @2π·sr 或 1.6% @2π·sr

ЕUV碎片缓减系统后带内通量收集角(13.5nm±1%)

11 mW 或9 mW

碎片缓减系统后带内光谱亮度(13.5nm±1%),W/mm2·sr

≥ 80W/mm2·sr或≥ 140 W/mm2·sr

等离子体稳定性

3% RMS


系统寿命和维护要求

型号

TEUS S-100

24/7运行模式下,不使用特殊膜过滤器,收集器寿命降解10%

不少于8个月

24/7运行模式下,使用特殊膜过滤器,收集器寿命降解10%

不少于18个月

每次维护时间:

4个月- 1天

正常运行时间在24/7运行模式***

4个月

 

电力,系统尺寸和重量

型号

TEUS S-100

电功率

6.5 kW

尺寸(L×W×H)

1500×1000×1200 mm

重量,包括激光部件

770 公斤

设备需求

型号

TEUS S-100

房间清洁度等级

ISO7

水流速率

10升/分钟

 


Product Recommendation